Hovedmaterialer og strukturer
1) Isostatisk pressende grafittdigel med høy-renhet (foretrukket for vakuumovner)
Ensartet tre-dimensjonal kompresjon, tett struktur, god isotropi, lav porøsitet, høy tetthet og ekstremt lite urenheter; brukes til halvledere, SiC-krystallvekst og høy-metallsmelting.
2) Impregnert tett grafittdigel
Harpiks/kulltjæreimpregnering for å tette porene, forbedret lufttetthet, høy kostnadseffektivitet-; brukes til konvensjonell vakuum varmebehandling og sintring av hardlegering.
3) SiC/BN-belagt grafittdigel
Tett SiC/BN-belegg på den indre veggen, anti-oksidasjon, anti-klebing, anti-karbonforurensning og motstand mot metallvæskeerosjon; kan kort kontakt med luft, lengre levetid.
Kjernefunksjon
1. Ultra-høy renhet, ekstremt lav utgassing (vakuum er nøkkelen)
Fast karbon: 99,9 % (3N) / 99,95 % (4N) / 99,99 % (5N)
Askeinnhold: Mindre enn eller lik 50 ppm (4N), Mindre enn eller lik 10 ppm (5N); Metallurenheter (Fe, Si, Al, etc.) Mindre enn eller lik 5–10 ppm
Vakuumutgassing med høy-temperatur: Totalt flyktig materiale Mindre enn eller lik 0,005 % ved 1600 grader, urenhetsfrigjøring Mindre enn eller lik 5 ppm, forurenser ikke smelten/arbeidsstykket, skader ikke vakuumgraden
2. Høy temperaturbestandighet, sterk termisk stabilitet
Lang-tid i vakuum / inert atmosfære: 2200 grader ; Kort-grense: 2800 grader
Luft (uten belegg): Mindre enn eller lik 450 grader; SiC-belegg: 1800 grader kort-brukbar
Termisk ekspansjonskoeffisient (25–1000 grader): 1,8–2,2×10⁻⁶ / grad (ekstremt lav); Termisk syklusdeformasjon Mindre enn eller lik 0,01 mm/m, ingen sprekker, ingen deformasjon
Produksjonsprosess
Grafittpulver med høy-renhet → Kald isostatisk pressing → 2800–3000 grader høy-grafitisering → Impregnering og fortetting (valgfritt) → Presisjons CNC-behandling → SiC/BN-belegg (valgfritt) → Rengjøring, tørking, lekkasjedeteksjon (→COA)
Hovedapplikasjonsfelt
Halvleder / fotovoltaikk: SiC enkeltkrystallvekst, smelting av silisiummateriale, wafer-gløding, PECVD, termisk feltdigel
Vakuummetallurgi: Titan, wolfram, molybden, edle metaller, sjeldne metaller vakuumsmelting/destillasjon
Pulvermetallurgi: Sementert karbid, neodymjernbor, keramisk vakuumsintring
Vakuumvarmebehandling: legeringer med høy-temperatur, spesialstål vakuumkjøling/lodding
Valgforslag:
Ultra-høyvakuum (10⁻⁵ til 10⁻⁶ Pa) + halvleder/materialer med høy-renhet → 5N isostatisk grafittdigel med høy-renhet
Konvensjonelle vakuumovner, sintring / smelting → 4N isostatisk / impregnert grafittdigel (høy kostnad-effektivitet)
Utsatt for oksidasjon, metallvæskeerosjon, anti-klebing → SiC/BN-belagt grafittdigel
| Punkt | Høy-renhetsisostatisk | Impregnert | SiC belagt | Betingelse |
|---|---|---|---|---|
| Fast karbon | Større enn eller lik 99,95 %/99,99 % | Større enn eller lik 99,9 % | Større enn eller lik 99,95 % | RT |
| Bulkdensitet | 1,85–1,92 g/cm³ | 1,75–1,85 g/cm³ | 1,88–1,92 g/cm³ | RT |
| Porøsitet | Mindre enn eller lik 1,5 % | Mindre enn eller lik 3 % | Mindre enn eller lik 1,5 % | RT |
| Kontinuerlig temperatur (vakuum) | 2200 grader | 2100 grader | 2200 grader | Ar/N2 |
| CTE (25–1000 grader) | 1,8–2,2×10⁻⁶/ grad | 2,0–2,5×10⁻⁶/ grad | 1,9–2,3×10⁻⁶/ grad | / grad |
| Termisk ledningsevne | 150–180 W/(m·K) | 120–150 W/(m·K) | 140–170 W/(m·K) | RT |
Populære tags: vakuumovn grafitt digler, Kina vakuum ovn grafitt digler produsenter, leverandører, fabrikk
