Grafitthylser for halvlederutstyr
Jincheng Graphite, som en profesjonell produsent av grafitthylser, leverer høy-temperaturbestandige og høy termisk ledningsevne grafitthylser for halvlederutstyr. Disse hylsene er spesialdesignet for reaksjonskamre med høye-temperaturer og vakuumutstyr, med sterk termisk stabilitet, korrosjonsbestandighet og lang levetid. De er mye brukt i halvlederproduksjonsindustrien.
Kjernefordel
Ekstrem temperaturmotstand
Ved å bruke en grafitt med høy-renhet (karboninnhold større enn eller lik 99,99%) og keramisk komposittprosess, er temperaturmotstandsområdet fra -200 grader til 3000 grader, egnet for høytemperaturreaksjonsmiljøer i halvlederutstyr.
Høy varmeledningsevne
Gjennom kombinasjonen av flerlags grafittstruktur og vakuumkammer reduseres den termiske motstanden til 0,05 K/W, noe som sikrer jevn fordeling av høy-temperaturgasser og unngår lokal overoppheting som forårsaker materialdeformasjon.
Sterk kjemisk stabilitet
Utmerket korrosjonsmotstand, i stand til å fungere stabilt i halvlederprosessgasser som hydrogen og nitrogen i lang tid, noe som reduserer frekvensen av utstyrsvedlikehold.
Søknadsscenario
Høy-temperaturreaksjonskammerutstyr
Brukt i halvlederproduksjonsprosesser som CVD og PVD, kan grafitthylsen jevnt lede varme, noe som forbedrer prosessstabilitet og utbytte.
Vakuum miljø varmesystem
Under tørke- og utglødningsprosessene til halvlederskiver gir grafitthylsen jevn varmefordeling, noe som reduserer risikoen for termisk stress.
Høy-laserutstyr
Den er kompatibel med laserhulrom med høy-energi, og leder raskt varme gjennom grafitthylsen for å sikre sikker drift av utstyret.
Tekniske parametere
| Termisk ledningsevne | 250 - 400 W/m·K (tilpasses i henhold til prosesskrav) |
| Driftstemperaturområde | -200 grader til 3000 grader |
| Egnet gassmiljø | hydrogen, nitrogen, argon, etc. halvlederprosessgasser |
| Overflatebehandling | plasmapolering/belegg (tilpasses) |
Jincheng grafitt kvalitetssikring
Basert på 20 års erfaring med grafittmaterialforskning, tar Jincheng Graphite i bruk patentert vakuumkomposittteknologi og nanometer-grafittfyllingsteknologi for å sikre stabiliteten til grafitthylser under ekstreme forhold. Sertifisert etter ISO 9001 kvalitetssystem og AS9100 luftfartsstandarder, oppfyller den kravene til høy-pålitelighet applikasjonsscenarier.
Samarbeidsforpliktelse
Jincheng Graphite tilbyr en fullstendig-prosess tilpasset tjeneste fra design, produksjon til-ettersalg, støtte for små-batchprøveproduksjon og stor-tilpasning. Det sikrer en kort leveringssyklus og kontrollerbare kostnader. Gjennom det globale logistikknettverket og lokale serviceteam gir den effektive og stabile grafitthylseløsninger for halvlederutstyr, og bidrar til å oppnå langsiktig-stabil drift av prosesser med høy-presisjon.
Populære tags: grafittforinger for halvlederutstyr, Kina grafittforinger for halvlederutstyr produsenter, leverandører, fabrikk
