Grafittelektroder for integrert kretsproduksjon
Jincheng Graphite, som en profesjonell produsent av grafittprodukter, gir grafittelektroder med høy ledningsevne og høy termisk stabilitet for integrert kretsproduksjon. Disse elektrodene er spesialdesignet for nøkkelprosesser som litografi, etsing og deponering, og har høy presisjonsbehandlingsevne, lang levetid og lav termisk spenning. De er mye brukt i den avanserte-halvlederproduksjonsindustrien.
Kjernefordel
Høy ledningsevne og termisk stabilitet
Ved å bruke høy-rente grafittsubstrater og kombinere overflatebehandlingsteknologi i nanoskala, når konduktiviteten større enn eller lik 10^5 S/m, og den termiske ekspansjonskoeffisienten er mindre enn eller lik 3,5×10⁻⁶/grad. Dette sikrer strukturell stabilitet under høye-temperaturprosesser og forhindrer termisk deformasjon av wafer.
Presisjonsbehandlingskompatibilitet
Gjennom laserskjæring, plasmaetsing, etc., støtter den elektrodetykkelser fra 0,05 til 3 mm og tilpassede komplekse geometrier, egnet for waferbehandlingsutstyr for avanserte prosesser på 5nm og lavere, og oppfyller kravene til høy-presisjonsjustering.
Korrosjonsbestandighet og slitestyrke
Overflaten gjennomgår kjemisk passiveringsbehandling. Den går gjennom sterk syrekorrosjonstester med HF, HNO₃, etc., og tåler temperaturer opp til 1500 grader eller over, noe som forlenger levetiden til elektrodene betydelig og reduserer risikoen for prosessavbrudd.
Søknadsscenario
Grafittelektroder som brukes i produksjon av integrerte kretser er mye brukt i nøkkelprosesser som plasmaetsing (for prosessering av dyp sub-mikrongrøft), kjemisk dampavsetning (CVD) og fysisk dampavsetning (PVD). Deres lave termiske spenningsegenskaper kan effektivt forhindre defekter forårsaket av ujevn termisk ekspansjon av wafere, øke utbyttet av high-brikker til over 99,8 %, og bidra til å oppnå miniatyrisering og høy-tetthetsintegrering av brikkeproduksjonsprosesser.
Tekniske spesifikasjoner
| Elektrisk ledningsevne | Større enn eller lik 10^5 S/m (ved romtemperatur) |
| Termisk ekspansjonskoeffisient | Mindre enn eller lik 3,5 × 10⁻⁶ / grad |
| Overflateruhet | Ra Mindre enn eller lik 0,2 μm |
| Korrosjonsbestandighet | Bestått tester i sterke syrer, sterke alkalier og plasmamiljøer |
| Mekanisk styrke | Trykkfasthet Større enn eller lik 120 MPa |
Jincheng grafitt kvalitetssikring
Jincheng Graphite har vært dypt involvert i feltet av grafittprodukter i 18 år. Den har sine egne uavhengige immaterielle rettigheter for lav-temperatursintringsteknologi og ISO9001-sertifisering for kvalitetsstyringssystem. Den kontrollerer strengt hele prosessen fra rensing av råvarer (renhet større enn eller lik 99,99%), støping og pressing til høy-temperatursintring for å sikre at produktene oppfyller de strenge kravene fra halvlederindustrien til renslighet (ISO 4-grad), termisk stabilitet (±0,5 grader ), og overflateplanhet til mindre enn 1 m/m).
Samarbeidsforpliktelse
Jincheng Graphite tilbyr gratis prøvetesting, 72-timers teknisk respons og støtte for prøveproduksjon i liten-skala. Den kan tilpasse elektrodedimensjoner, ledende ytelsesparametere og overflatebehandlingsplaner i henhold til kundens prosesskrav. Det er forpliktet til å tilby høyytelses og pålitelige grafittelektrodeløsninger for globale halvlederbedrifter. Med profesjonell teknologi, rask levering og kontinuerlig innovasjon har den blitt en kjernepartner innen termisk styring og presisjonsbehandling i integrert kretsproduksjon.
Populære tags: grafittelektroder for ic-produksjon, Kina grafittelektroder for ic-fabrikasjon produsenter, leverandører, fabrikk
